고전압증폭기
MEMS설계
도문
2022. 10. 20. 14:36
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이 방정식 요약 양식은 Falco Systems 애플리케이션 노트 '고전압 증폭기를 사용한 MEMS의 정전기 작동: 빗 드라이브 부상 및 풀인에서 유전체 충전 및 위치 잡음에 이르기까지'에 속합니다. MEMS 설계에 대한 빠른 현실 확인, 완전한 설계 또는 설계 평가를 수행하는 '빠르고 더러운'방법, FEM(유한 요소 모델링)을 보완하는 데 필요한 정보를 나열합니다. Excel 시트에 기하학적 값을 입력하면 작동 전압, 해당 힘 및 변위를 계산할 수 있습니다.
아래수식계산이용
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